- Design Considerations for Long Travel Z-Axis Ultra-Precision Positioning Stage
- Design Considerations for Long Travel Z-Axis Ultra-Precision Positioning Stage
- ㆍ 저자명
- Mohammad. Tarek,Salisbury. Shaun
- ㆍ 간행물명
- International journal of precision engineering and manufacturing
- ㆍ 권/호정보
- 2012년|13권 9호|pp.1581-1588 (8 pages)
- ㆍ 발행정보
- 한국정밀공학회
- ㆍ 파일정보
- 정기간행물|ENG| PDF텍스트
- ㆍ 주제분야
- 기타
