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Structure Modeling of 100 V Class Super-junction Trench MOSFET with Specific Low On-resistance
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  • Structure Modeling of 100 V Class Super-junction Trench MOSFET with Specific Low On-resistance
  • Structure Modeling of 100 V Class Super-junction Trench MOSFET with Specific Low On-resistance
저자명
Lho. Young Hwan
간행물명
전기전자학회논문지
권/호정보
2013년|17권 2호|pp.129-134 (6 pages)
발행정보
한국전기전자학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

For the conventional power metal-oxide semiconductor field-effect transistor (MOSFET) device structure, there exists a tradeoff relationship between specific on-resistance ($R_{ON.SP}$) and breakdown voltage ($V_{BR}$). In order to overcome the tradeoff relationship, a uniform super-junction (SJ) trench metal-oxide semiconductor field-effect transistor (TMOSFET) structure is studied and designed. The structure modeling considering doping concentrations is performed, and the distributions at breakdown voltages and the electric fields in a SJ TMOSFET are analyzed. The simulations are successfully optimized by the using of the SILVACO TCAD 2D device simulator, Atlas. In this paper, the specific on-resistance of the SJ TMOSFET is successfully obtained 0.96 $m{Omega}{cdot}cm^2$, which is of lesser value than the required one of 1.2 $m{Omega}{cdot}cm^2$ at the class of 100 V and 100 A for BLDC motor.