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Optical properties of vanadium dioxide thin films on c-Al2O3 (001) substrates by in-situ RF magnetron sputtering
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  • Optical properties of vanadium dioxide thin films on c-Al2O3 (001) substrates by in-situ RF magnetron sputtering
  • Optical properties of vanadium dioxide thin films on c-Al2O3 (001) substrates by in-situ RF magnetron sputtering
저자명
Han. Seung Ho,Kang. So Hee,Kim. Hyeongkeun,Yoon. Dae Ho,Yang. Woo Seok
간행물명
한국결정성장학회지
권/호정보
2013년|23권 5호|pp.224-229 (6 pages)
발행정보
한국결정성장학회
파일정보
정기간행물|ENG|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

Vanadium oxide thin films were deposited on $c-Al_2O_3$ (001) substrate by in-situ RF magnetron sputtering. Oxygen partial pressure was adjusted to prepare thermochromic $VO_2$ phase. X-ray diffraction patterns and scanning electron microscopy convincingly showed that plate-like $V_2O_5$ grains were changed into round-shape $VO_2$ grains as oxygen partial pressure decreased. After the optimized deposition conditions were fixed, the effect of substrate temperature and orientation on the optical properties of $VO_2$ thin films was analyzed.