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RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 WO3/Ag/WO3 투명전극의 전기·광학적 특성 연구
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  • RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 WO3/Ag/WO3 투명전극의 전기·광학적 특성 연구
저자명
강동수,이붕주,권홍규,신백균,Kang. Dong-Soo,Lee. Boong-Joo,Kwon. Hong-Kyu,Shin. Paik-Kyun
간행물명
전기학회논문지= The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers
권/호정보
2014년|63권 11호|pp.1533-1537 (5 pages)
발행정보
대한전기학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

$WO_3/Ag/WO_3$ multilayer was researched by using RF magnetron sputtering with transparent electrode. Process gas flow ratio with $Ar/O_2$ were selected the optimum conditions at 70sccm/2sccm and $WO_3$ thin film at its conditions was appeared at transmittance about 80% in the visible light region to the average. $WO_3/Ag/WO_3$ multilayer thin films were fabricated from the same process condition which was the same gas flow ratio of Ar and $O_2$ $WO_3/Ag/WO_3$ thin films were appeared transmittance about 93% and sheet resistance about $6.41{Omega}/{square}$. From the SEM images, each thin films were appeared when $WO_3$ is 40nm and $O_2$ is 10nm.