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Ru 계 후막저항계의 상전이 기구
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  • Ru 계 후막저항계의 상전이 기구
저자명
강병돈
간행물명
마이크로전자 및 패키징 학회지
권/호정보
1994년|1권 2호|pp.125-134 (10 pages)
발행정보
한국마이크로전자및패키징학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

저항범위가 다른 두종류의 Ru계 후막저항계(1Kohm/sq. 100kohm/sq.)를 선택하여 도전상의 상전이 기구를 반응조건을 변화시켜 연구하였다. 저저항체의 경우 도전상으로는 RuO2였으며 700-100$0^{circ}C$에서 1시간 반응한 경우 반응온도에 따른 구성상의 변화는 없었다 반응온도 90$0^{circ}C$에서 반응시간이 경과함에 따라 도전상은 RuO2가 Glass의 구성성분인 Pb와 반응하여 Rb2(Ru1.69 Pb0.31)O6.5로 변하고 시간이 36시간 경과한 후에는 도전상이 Pb4Al2Si2O10인 결정으로 둘러 쌓이는 반응인 peritectic reaction이 일어났다. 고전항체의 경 우 도전상으로는 Pb2(Ru1.69 Pb0.31)O6.5로 변하고 시간이 36시간 경과한 후에는 더전상이 Pb4Al2Si2O10인 결정으로 둘러쌓이는 반응인 peritectic reaction 이 일어났다. 고저항체의 경 우 도전상으로는 Pb2(Ru1.69 Pb0.31)O6.5인 pyrochrole 상이였다. 100$0^{circ}C$에서 1시간 반응시킬 경 우 도전상이 RuO2로 변하였다. 반응온도를 90$0^{circ}C$로 하고 반응시간을 변화시키면 도전상인 Pb2(Ru1.69 Pb0.31)O6.5가 (Ru1.69Pb0.31)O4x로 변하면서 공존하였다.