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$Li_{0.5}La_{0.5}TiO_3$계 이온전도체의 복소임피던스 특성
유광수, 이종숙, 김태송 한국세라믹학회 요업학회지 6 Pages
한국세라믹학회 요업학회지 1996, Vol.33 No.10 1073-1078 (6 pages)
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$RuO_2$하부전극상에 증착된 $(Ba_{0.5}Sr_{0.5})TiO_3$박막의 특성
백수현, 박치선, 마재평 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 4 Pages
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 1998, Vol.8 No.3 407-410 (4 pages)
$RuO_2$를 하부전극으로 적용한 (Ba,Sr)$TiO_3$[BST] 박막의 Sputtering 가스내 $O_2/Ar$ 비에 따른 특성을 고찰하였다. $O_2/Ar$ 비가 1/9에서 5/5로 증가함에 따라 BST 박막의 유전상수는 135에서 190로 증가한 반면, 누설전류 특성은 $1.9{ imes}10^{-7}; A/{ extrm}{cm}^2$에서 $1.7{ imes}10^{-6}; A/{ extrm}{cm}^2$로 저하되었다. $O_2/Ar$ 비 증가에 따른 BST 박막의 결정성의 향상에도 불구하고 BST 박막의 표면거칠기의 증가와 BST/ $RuO_2$계면에서의 산소결핍 지역의 확장 등이 BST 박막의 누설전류 특성의 저하를... -
RF Magnetron Sputtering을 이용한 $Ba_{0.5}Sr_{0.5}TiO_3$박막 커패시터의 제작과 전기적 특성에 관한 연구
이태일, 박인철, 김홍배 한국진공학회 韓國眞空學會誌 7 Pages
한국진공학회 韓國眞空學會誌 2002, Vol.11 No.1 1-7 (7 pages)
RF Magnetron Sputtering 방법으로 $Ba_{0.5}Sr_{0.5}TiO_3$ 박막을 Pt/Ti/$SiO_2$/Si 기판위에 증착하였다. $Ba_{0.5}Sr_{0.5}TiO_3$ 박막 증착시 기판온도는 실온으로 고정시켜주었고, 작업 가스 유량(Ar:$O_2$)과 RF Power는 각각 90:10에서 60:40까지 그리고 50 W와 75 W로 하였다. 또한 박막 증착 후 RTA(Rapid Thermal Annealing)를 이용하여 산소분위기에서 $600^{circ}C$로 고온 순간 열처리를 하였다. 커패시터 제작을 위해 UHV System의 E-beam evaporator를 이용하여 Pt를 증착하였다. XRD 측정을 통한 구조적 특성에서는 작업... -
MgO가 첨가된 $Ba_{0.5}Sr_{0.5}TiO_3$ 후막의 구조 및 유전 특성
강원석, 남성필, 고중혁, 이성갑, 이영희, Kang. Won-Seok, Nam. Sung-Pil, Koh. Jung-Hyuk, Lee. Sung-Gap, Lee. Young-Hie 대한전기학회 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문 5 Pages
대한전기학회 전기학회논문지. The transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers. C/ C, 전기물성·응용부문 2006, Vol.55 No.12 555-559 (5 pages)
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TFELD 절연층을 위해 ITO glass위에 증착시킨 $(Ba_{0.5},Sr_{0.5})TiO_3$ 박막의 특성
김정환, 배승춘, 박성근, 권성렬, 최병진, 남기홍, 김기완, Kim. Jeong-Hwan, Bae. Seung-Choon, Park. Sung-Kun, Kwon. Sung-Ryul, Choi. Byung-Jin, Nam. Gi-Hong, Kim. Ki 한국센서학회 센서학회지 7 Pages
한국센서학회 센서학회지 2000, Vol.9 No.1 83-89 (7 pages)
위해 ITO 유리위에 BST박막을 rf 마그네트론 스퍼터링법으로 증착시켰다. $O_2/(Ar+O_2)$의 혼합비는 10%, 기판온도는 상온에서 $500^{circ}C$까지 변화를 주었고, 분위기압은 5 mTorr에서 30 mTorr까지 변화시켰다. 다양한 증착조건에서 성장된 BST박막의 전기적, 광학적, 구조적 및 화학량론적인 특성을 조사하였다. BST박막성장의 최적조건은 기판온도 $400^{circ}C$, 분위기압 30 mTorr에서 구할 수 있었다. 주파수 1 kHz에서 비유전율은 254였고, 누설전류밀도는 5 MV/cm의 전계에서 $3.3{ imes}10^{-7};A/cm^2$이하로 나타났으며,... -
과잉 $TiO_2$ 첨가에 의한 $(Li_{1/2}Nd_{1/2})TiO_3$ 세라믹스의 고주파 유전특성
박종목, 이응상 한국결정성장학회 한국결정성장학회지 8 Pages
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 1997, Vol.7 No.2 301-308 (8 pages)
공진 주파수 온도 계수($ au_1$)가 큰 음의 값을 가지는 ($Li_{1/2}Nd_{1/2}$)$TiO_3$(이하 LNT로 약함)계에 과잉의 $TiO_2$ 첨가량을 변화시키면서 제조하였고, 이에 의하여 생성되는 제 2상의 $TiO_2$가 LNT계에 미치는 미세구조, 상변화, 고주파 유전특성의 변화를 X-ray, SEM을 통해서 분석하였다. LNT계에 $TiO_2$를 5 mol%가지 첨가시에는 LNT의 결정립 경계에 액상의 $TiO_2$가 생성되어 밀도의 증진을 가지고 왔으나 전체적인 LNT구조의 불균일을 초래하여 고주파 유전특성저하를 가지고 왔다. 그러나 10 mol% 이상 첨가시에는... -
RF Magnetron Sputtering에 의한 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5})Tio_3$박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구
박상식, 윤손길, Park. Sang-Sik, Yun. Son-Gil 한국재료학회 한국재료학회지 6 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 1994, Vol.4 No.4 453-458 (6 pages)
256Mb DRAM에서 박막 커패시터로의 적용을 위해서$(Ba_{0.5}Sr_{0.5)/TiO_3$(BST)박막이 RF Magnetron Sprttering방법에 의해 제조되었다. BST박막의 결정화도는 기판온도가 높아짐에 따라 증가하였고 증착된 박막의 조성은 $(Ba_{0.48}Sr_{0.48)/TiO_{2.93}$이었다. 이때 Pt/Ti장벽층은 Si의 BST계면으로의 확산을 억제하였다. 100kHz에서의 유전상수 및 유전손실은 각각 320 및 0.022이었다. 인가전계도 (Charge Storage Density)는 40fC/$mu extrm{m}^{2}$, 누설전류밀도(Leakage Current Density)는 0.8$mu A/ extrm{cm}^2$ 로서 RF... -
Laser Ablation에 의한 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5}) Tio_3$박막의 제조와 전극에 따른 전기적 특성
윤순길, Yun. Sun-Gil 한국재료학회 한국재료학회지 5 Pages
한국재료학회 한국재료학회지 1994, Vol.4 No.4 401-405 (5 pages)
Laser ablation기술에 의해 Pt와 $YBa_Cu_3O_{7-x}$(YBCO)전극위에 epitaxially성장된 BST박막의 조성과 전기적 특성이 연구되었다. RBS분석으로부터 Pt전극 위에 증착된 BST박막의 결정성이 YBCO전극 위에 증착된 것보다도 더 우수하였다. $600^{circ}C$에서 Pt 전극위에 증착된 BST박막은 100kHz의 주파수에서 유전상수가 320, 유전손실이 0.023이었다. Pt전극위에 증착된 BST박막의 누설전류 밀도가 TBCO전극위에 증착된 것 보다도 더 작았다. 0.15MV/cm의 전기장 하에서 누설전류밀도는 약 0.8 $mu ; A/ extrm{cm}^2$이었다. -
저온동시소성 유전체 재료용 인산염계 유리-$BaO-Nd_{2}O_3-TiO_2$계 세라믹 복합체의 특성
이회관, 이용수, 황성건, 강원호, 김형순, Lee. Hoi Kwan, Lee. Yong Su, Hwang. Sheng-Jian, Kang. Won Ho, Kim. Hyung Sun 한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 6 Pages
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징 학회지 2004, Vol.11 No.2 17-22 (6 pages)
널리 사용되고 있는 BNT($BaO-Nd_{2}O_3-TiO_2$)계 세라믹스를 기본조성으로 하고, 저융점의 phoshpate계 유리 프릿의 첨가를 통해 LTCC(Low Temperature Cofired Ceramic)에 적용 가능한 유전율을 가진 조성을 개발 하고자 $70P_{2}O_5-5B_{2}O_3-(25-x)BaO-xNa_{2}O$ 유리를 제조 및 특성을 평가하였다 또한, BNT계 세라믹스에 글래스 프릿을 $5 - 15;wt\%$ 범위에서 첨가하고, 800 - $950^{circ}C$의 온도범위에서 소결하여 제조된 유리-세라믹 복합체의 소결수축율은 글래스 프릿의 함량이 증가함에 따라 증가하였으며, 유전율은...