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광변조기용 CPW 진행파형 전극 마이크로파 전송특성
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  • 광변조기용 CPW 진행파형 전극 마이크로파 전송특성
  • Microwave transmission characteristics of CPW traveling-wave electrode for light intensity modulator
저자명
김성구,윤형도,윤대원,유용택
간행물명
電氣電子材料學會誌= The journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
권/호정보
1996년|9권 1호|pp.51-58 (8 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
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주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This report describes thick traveling-wave electrode formation and microwave transmission characteristics of the fabricated electrodes. Effective refractive indices of the microwave in the 5 micron CPW type traveling-wave electrodes is around 2.45 according to the results of time domain S parameter measurements. The bandwidth of the electrodes is about 10 GHz and could be extended to 15 GHz through optimization of the process. The developed process technique that enables plating of micropatterns upto 20 micron can be applied to broadband optical intensity modulators.