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레이저 어블레이션에 의한 $(Pb,La)TiO_3$ 박막의 제작
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  • 레이저 어블레이션에 의한 $(Pb,La)TiO_3$ 박막의 제작
저자명
박정흠,김준한,이상렬,박종우,박창엽,Park. Jeong-Heum,Kim. Joon-Han,Lee. Sang-Yeol,Park. Chong-Woo,Park. Chang-Yub
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
1998년|11권 2호|pp.133-137 (5 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

$(Pb_{0.72}La_{0.28})Ti_{0.93}O_3(PLT(28))$ thin films were fabricated by pulsed laser deposition. PLT films deposited on $Pt/Ti/SiO_2/Si$ at $600^{circ}C$ had a preferred orientation in (111) plane and at $550^{circ}C$ had a (100) preferred orientation. We found that (111) preferred oriented films had well grown normal to substrate surface. This PLT(28) thin films of $1{mu}m$ thickness had dielectric properties of ${varepsilon}_r$=1300, dielectric $loss{fallingdotseq}0.03 $. and had charge storage density of 10 [${mu}C/cm^2$] and leakage current density of less than $10^{-6}[A/cm^2]$ at 100[kV/cm]. These results indicated that the PLT(28) thin films fabricated by pulsed laser deposition are suitable for DRAM capacitor application.