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금속박막형 압력세서의 제작과 그 특성
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  • 금속박막형 압력세서의 제작과 그 특성
저자명
정귀상,최성규,남효덕,이원재,송재성
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2001년|14권 5호|pp.405-409 (5 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

This paper describes fabrication and characteristics of metal thin-film pressure sensor for working at high temperature. The proposed pressure consists of a chrom thin-film, patterned on a Wheat stone bridge configuration, sputter-deposited onto thermally oxidized Si membranes with an aluminium interconnection layer. The fabricated pressure sensor presents a low temperature coefficient of resistance, high-sensitivity, low non-linearity and excellent temperature stability. The sensitivity is 1.097∼1.21mV/V$.$kgf/$ extrm{cm}^2$ in the temperature range of 25∼200$^{circ}C$ and the maximum non-linearity is 0.43%FS.