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PLD법에 의한 14/50/50 PLZT박막의 제작과 특성평가
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  • PLD법에 의한 14/50/50 PLZT박막의 제작과 특성평가
저자명
박정흠,강종윤,장낙원,박용욱,최형욱,마석범
간행물명
전기전자재료학회논문지
권/호정보
2001년|14권 5호|pp.417-422 (6 pages)
발행정보
한국전기전자재료학회
파일정보
정기간행물|
PDF텍스트
주제분야
기타
이 논문은 한국과학기술정보연구원과 논문 연계를 통해 무료로 제공되는 원문입니다.
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기타언어초록

The needs of new materials that substitute Si Oxide capacitor layer in high density DRAM increase. So in this paper, we choose the slim region 14/50/50 PLZT composition and fabricated thin films by PLD and estimated the characteristics for DRAM application. 14/50/50 PLZT thin films have crystallized into perovskite structure in the $600^{circ}C$ deposition temperature and 200 mTorr Oxygen pressure. In this condition, PLZT thin films had 985 dielectric constant, storage charge density 8.17 $mu$C/$ extrm{cm}^2$ and charging time 0.20ns. Leakage Current density was less than 10$^{-10}$ A/$ extrm{cm}^2$ until 5V bias voltage.